微米/纳米技术依然广泛应用于从生物医学工程到高精度制造的各个领域。其中很多应用都需要通过3-D非接触式光学计量工具在高度工程化的表面（例如涂层 、机械模型）上进行精细的过程控制和验证。美国MKS集团最近收购了Ophir Optronics 旗下的Optimet公司，大大提高了MKS为应用于不同领域且功能各异的高性能3D表面计量系统提供硬件的能力。

那么，高性能非接触式光学表面计量系统是什么？
高性能非接触式光学表面计量系统有哪些？

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本期白皮书您可了解：
● 表面计量系统特性和优势
● 表面计量系统的技术
● 3-D非接触式光学测量